Cubic Sensor and Instrument Co.,Ltd.
Penyelesaian pemantauan Gas padu untuk proses pembuatan

Penyelesaian pemantauan Gas padu untuk proses pembuatan

Kualiti udara alam sekitar, kualiti proses, dan keselamatan pengeluaran memainkan peranan penting untuk proses pembuatan moden. Untuk menyumbang kepada pengeluaran yang lebih baik, kuboid menyediakan penyelesaian pemantauan gas ketepatan tinggi, masa nyata yang direka untuk proses pembuatan.

Hubungi kami >

Persekitaran pembuatan perindustrian beroperasi di bawah keadaan pengeluaran yang berterusan di mana parameter alam sekitar dan keselamatan adalah kritikal. Merentasi pelbagai sektor perkilangan, operasi bergantung kepada pemantauan masa nyata untuk mengekalkan keadaan persekitaran yang stabil.


Sebagai pengeluar perlu memenuhi piawaian alam sekitar dan pengeluaran yang ketat semasa proses pembuatan, kuboid menyediakan penyelesaian pemantauan gas masa nyata, ketepatan tinggi untuk menyokong kualiti udara alam sekitar dan keselamatan pengeluaran.

A: pemantauan kualiti udara alam sekitar

Pemantauan kualiti udara alam sekitar adalah kunci kepada proses pembuatan, kerana zarah-zarah kecil boleh merosakkan kualiti produk. Cleanrooms membantu mengawal bahan cemar dan mengikut piawaian ISO 14644 untuk tahap klasifikasi. Kuboid menyokong kawalan cleanroom dengan pengesanan masa nyata zarah, kelembapan, dan suhu untuk memastikan keadaan alam sekitar stabil.

Kaunter zarah udara

Untuk pemantauan kualiti udara alam sekitar, kuboid telah membangunkan kaunter zarah dalam talian cahaya berdasarkan platform teknologi teras. Produk ini menggunakan teknologi penukaran laser dan fotoelektrik gred perindustrian berkuasa tinggi untuk mengesan zarah udara dalam masa nyata merentasi enam julat saiz.


Pemancar RH & Temp

Cubic menawarkan pemancar IAQ berdasarkan teknologi NDIR dan MEMS MOX untuk pemantauan masa nyata. Produk ini menyokong pemantauan tanpa wayar, membuat pemasangan fleksibel dan mengurangkan keperluan pendawaian. Dengan skrin sentuh terbina dalam, pengguna boleh melihat data dengan mudah, menyesuaikan tetapan, dan melakukan penentukuran di tapak.


B: proses pemantauan kualiti

Penyelesaian pemantauan kualiti proses padu mengesan kelembapan jejak, oksigen jejak, dan gas utama lain termasuk tungsten hexafluoride dan silikon tetrafluoride, yang digunakan dalam proses pembuatan. Pemantauan masa nyata membantu meningkatkan kestabilan dan kualiti proses.

Mengesan kelembapan & Sensor oksigen

Sensor kelembapan jejak padu dibangunkan berdasarkan teknologi TDLAS. Ia memberikan kestabilan asas yang luar biasa, kepekaan, dan tindak balas yang cepat. Ia direka khusus untuk pemantauan masa nyata kelembapan jejak dalam persekitaran ultra bersih. Selain itu, sensor oksigen jejak padu dibangunkan berdasarkan teknologi zirkonia. Ia mudah untuk mengintegrasikan dan memasang, dilengkapi dengan satu RS-232 dan dua RS-485 pelabuhan. Sensor direka untuk mengesan kepekatan ultra rendah oksigen dalam gas kesucian tinggi.


Sensor tekanan & pengawal aliran massa

Cubic menyediakan sensor tekanan dan pengawal aliran massa yang memaparkan reka bentuk modular untuk integrasi fleksibel, dan menyokong pelbagai mod komunikasi dan bekalan kuasa. Produk ini tahan kimia terhadap gas dan wap yang menghakis, memastikan ketahanan dan kebolehpercayaan dalam persekitaran proses yang keras.


C: pemantauan pengeluaran keselamatan

Gas berbahaya dan mudah terbakar biasanya digunakan. Sebarang kebocoran atau tumpahan boleh membahayakan pekerja, peralatan kerosakan, dan mengganggu pengeluaran. Pemantauan gas berterusan membantu mengesan masalah awal, membolehkan tindakan pantas untuk mengurangkan risiko. Penyelesaian pemantauan pengeluaran keselamatan Cubic menyediakan tepat, masa nyataPengesanan gasYang meningkatkan keselamatan, dan membantu memastikan operasi pembuatan stabil.


SiF4, Sensor Gas WF6

Berdasarkan teknologi NDIR, kuboid membangunkan sensor gas yang direka untuk memantau tungsten hexafluoride (WF₆) dan silikon tetrafluoroide (SiF₄), yang digunakan secara meluas dalam proses pembuatan perindustrian.

Piawaian dan peraturan industri

Pelbagai piawaian dan peraturan antarabangsa telah ditubuhkan untuk membimbing industri semikonduktor dalam mengekalkan persekitaran pembuatan yang selamat, bersih, dan cekap. Mematuhi piawaian adalah penting bukan sahaja untuk memastikan kualiti produk dan keselamatan pekerja tetapi juga untuk memenuhi keperluan pengawalseliaan dan mengekalkan daya saing global.


Standard/peraturanPenerangan
ISO 14644Ia mentakrifkan tahap kebersihan yang diperlukan oleh kepekatan zarah, dengan ISO kelas 1 menjadi yang paling bersih.
USP 797Rujukan ISO 14644 klasifikasi kebersihan udara dan memerlukan pemantauan zarah sebagai sebahagian daripada kawalan alam sekitar dan pengurusan risiko di kawasan pengkompaunan farmaseutikal.
EU GMP Annex 1Memerlukan pengiraan zarah udara berterusan atau berkala dalam persekitaran pembuatan steril untuk mengesahkan kawalan alam sekitar dan menyokong pengurusan risiko pencemaran.
ANSI/ESD S20.20Piawaian ini menetapkan keperluan untuk mengawal ESD dalam persekitaran pembuatan, yang penting untuk melindungi produk dan komponen sensitif.



Meningkatkan kecekapan tenaga<br>
Dengan penyelesaian pemantauan proses pembuatan padu
Meningkatkan kecekapan tenaga
Dengan penyelesaian pemantauan proses pembuatan padu
Hubungi kami

Teknologi teras

TDLAS
LSD
NDIR
MEMS MOx
Spektroskopi Laser diod boleh tala
Spektroskopi Laser diod boleh tala
Hubungi kami
Cahaya-maka
Cahaya-maka
Hubungi kami
Inframerah dispersive
Inframerah dispersive
Hubungi kami
Mikro-elektro-mekanikal sistem (MEMS)<br> semikonduktor oksida logam (MOx)
Mikro-elektro-mekanikal sistem (MEMS)
semikonduktor oksida logam (MOx)
Hubungi kami

Sijil padu

Sijil CE siri OPC-6511DS
Sijil CE siri OPC-6511DS
Sijil CE siri OPC-6510
Sijil CE siri OPC-6510
Sijil CE siri OPC-6303
Sijil CE siri OPC-6303
Sijil set semula AM6108A
Sijil set semula AM6108A
Sijil AM7000 CE
Sijil AM7000 CE
How May We Help?