Kaunter zarah Laser padu untuk pemantauan kebersihan udara Cleanroom

Menurut analisis industri yang dikeluarkan oleh SEMI, pencemaran mikro adalah faktor utama yang mempengaruhi kestabilan alam sekitar dalam persekitaran pembuatan terkawal. Akibatnya, pemantauan kebersihan udara cleanroom telah menjadi bahagian penting dalam kawalan pencemaran peringkat kemudahan dan program jaminan kualiti.

Partikulat adalah salah satu sumber utama pencemaran udara dalam persekitaran cleanroom. Pemantauan berterusan zarah udara membantu pengendali kemudahan mengesahkan keadaan kebersihan udara dan mengekalkan pematuhan dengan standard cleanroom.

Untuk menyokong pemantauan alam sekitar cleanroom berterusan, kuboid menyediakan kaunter zarah optik dalam talian OPC-6510DS, direka untuk pengukuran masa nyata kepekatan partikulat udara dalam persekitaran terkawal seperti kemudahan pembuatan elektronik dan aplikasi berasaskan cleanroom yang lain.

Kuboid yangOPC-6510DSDibangunkan berdasarkan teknologi laser maka dan membolehkan pengesanan tepat zarah-zarah saiz yang berbeza dalam isipadu unit udara. Mempunyai modul kaunter zarah laser terbina dalam, kipas RPM yang konsisten, dan sensor aliran ultrasonik, OPC-6510DS menyampaikan kadar aliran pensampelan yang stabil sebanyak 28.3 L/min, selaras dengan keperluan pengelasan cleanroom ISO 14644-1.

Instrumen ini menyokong output serentak merentasi lima saluran saiz zarah (>0.3 μm, >0.5 μm, >1.0 μm, >5.0 μm, >10 μm), dilaporkan dalam pc/28.3 L atau pc/m³, dan direka untuk operasi berterusan 24/7 untuk memastikan pemantauan tahap zarah udara yang stabil dan jangka panjang.

Di samping itu, OPC-6510DS dilengkapi dengan skrin sentuh bersepadu untuk visualisasi masa nyata pemantauan data dan tahap klasifikasi bilik bersih. Penggera yang boleh didengar dan visual disediakan untuk menyokong isyarat alam sekitar di tapak.

Pemantauan data boleh dihantar melalui RS485 Modbus dan MQTT komunikasi, membolehkan integrasi dengan kemudahan pemantauan atau sistem pengurusan bangunan, yang menyokong tindakan kawalan alam sekitar yang tepat pada masanya untuk mengekalkan kepekatan zarah udara dalam ambang kebersihan yang telah ditetapkan.